传感器技术在机电一体化中的应用
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摘要：文章概述机电一体化的基本支撑技术之一--传感器技术的研究现状和发展,探讨传感器在机电一体化系统中的应用,并分析中国传感器技术发展的若干问题及发展方向。
关键词：传感器技术发展方向研究现状
在机电一体化系统中，传感器处系统之首，其作用相当于系统感受器官，能快速、精确地获取信息并能经受严酷环境的考验，是机电一体化系统达到高水平高标准的保证。如缺少这些传感器对系统状态和对信息精确而可靠的自动检测，系统的信息处理、控制决策等功能就无法实现。
1 传感器的研究现状与性能发展方向
传感器是能感受规定的被测量并按一定转换成可用输出信号的器件或装置，主要用于检测机电一体化系统自身与操作对象、作业环境状态，为有效控制机电一体化系统的运作提供必须的相关信息。随着人类探知领域和空间的拓展{子}信息种类日益繁多，信息传递速度日益加快，信息处理能力日益增强，相应的信息采集――传感技术也将日益发展，传感器也将无所不在。
传感器的种类和主要性能有：
1.1 微机械谐振式压力传感器
除了具有普通微传感器的优点外，还具有准数字信号输出，抗干扰能力强，分辨力和测量精度高的优点。电热激励/压敏电阻拾振的微谐振式压力传感器价格低廉，与工业IC技术兼容，可将敏感元件与信号调理电路集成在1块芯片上，具有诱人的应用前景。目前国内主要有西安交通大学、中科院电子所和北京航空航天大学从事这方面的研究，精度可达到0.37％。我们在研究中发现这种传感器的温度交叉灵敏度较大，为此设计了一种具有温度自补偿功能的复合微梁谐振式压力传感器。光热激励/光学信号检测的微谐振式压力传感器具有抗电磁干扰、防爆等优点，是对电热激励/压敏电阻拾振的微谐振式压力传感器的有益补充，但是需要复杂的光学系统，不易实现，成本较高。 压阻式压力传感器
由于受耐温限制，只能用于120℃以下的工作温度，然而在许多领域迫切需要能够在高低温下正常工作的压力传感器,例如测量锅炉、管道、高温容器内的压力，井下压力和各种发动机腔体内的压力。目前对高温压力传感器的研究主要包括SOS、SOI、合金薄膜溅射压力传感器、高温光纤压力传感器、高温电容式压力传感器等。
1.2微加速度传感器
微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。这种传感器在汽车的防撞气袋控制等领域有广泛的用途，成本在15美元以下。
从20世纪80年代起，各国都掀起一股“传感器热”，各国都极为重视传感技术和传感器研究、开发和生产。传感技术已成为主要的现代科技领域，传感器及其系统生产已成为重要的新兴行业。
2 传感器在机电一体化系统中的应用
传感器是左右机电一体化系统（或产品）发展的重要技术之一，广泛应用于各种自动化产品之中：
2.1机械加工过程的传感检测技术。
（1）切削过程和机床运行过程的传感技术。切削过程传感检测的目的在于优化切削过程的生产率、制造成本或（金属）材料的切除率等。切削过程传感检测的目标有切削过程的切削力及其变化、切削过程颤震、刀具与工件的接触和切削时切屑的状态及切削过程辨识等，而最重要的传感参数有切削力、切削过程声发射、切削过程电机的功率等。对于机床的运行来讲，主要的传感检测目标有轴承系统、驱动与回转系统、温度的监测与控制及安全性等，其传感参数有机床的故障停机时间、被加工件的表面粗糙度和加工精度、功率、机床状态与冷却润滑液的流量等。
（2）工件的过程传感。与刀具和机床的过程监视技术相比，工件的过程监视是研究和应用最早、最多的。它们多数以工件加工质量控制为目标。20世纪80年代以来，工件识别和工件安装位姿监视要求也提到日程上来。粗略地讲，工序识别是为辨识所执行的加工工序是否是工（零）件加工要求的工序；工件识别是辨识送入机床待加工的工件或者毛坯是否是要求加工的工件或毛坯，同时还要求辨识工件安装的位姿是否是工艺规程要求的位姿。此外，还可以利用工件识别和工件安装监视传感待加工毛坯或工件的加工裕量和表面缺陷。完成这些识别与监视将采用或开发许多传感器，如基于TV或CCD的机器视觉传感器、激光表面粗糙度传感系统等。
（3）刀具（砂轮的检测传感。切削与磨削过程是重要的材料切除过程。刀具与砂轮磨损到一定限度（按磨钝标准判定）或出现破损（破损、崩刃、烧伤、塑变或卷刀的总称），使它们失去切（磨削能力或无法保证加工精度和加工表面完整性时，称为刀具/砂轮失效。工业统计证明，刀具失效是引起机床故障停机的首要因素，由其引起的停机时间占NC类机床的总停机时间的1/5-1/3.此外，它还可能引发设备或人身安全事故，甚至是重大事故
2.2机器人用传感器
工业机器人之所以能够准确操作，是因为它能够通过各种传感器来准确感知自身、操作对象及作业环境的状态，包括：其自身状态信息的获取通过内部传感器（位置、位移、速度、加速度等）来完成，操作对象与外部环境的感知通过外部传感器来实现，这个过程非常重要，足以为机器人控制提供反馈信息。
2.3汽车自动控制系统中的传感技术
随着传感器技术和其它新技术应用，现代工业进入了全新时期。汽车的机电一体化要求用自动控制系统取代纯机械式控制部件，这不仅体现在发动机上，为更全面地改善汽车性能，增加人性化服务功能，降低油耗，减少排气污染，提高行驶安全性、可靠性、操作方便和舒适性，先进的检测和控制技术已扩大到汽车全身。在其所有重点控制系统中，必不可少地使用曲轴位置传感器、吸气及冷却水温度传感器、压力传感器、气敏传感器等各种传感器。
3 我国传感器技术
我国感器技术的发展存在的若干问题及发展方向。传感器技术是实现自动控制、自动调节的关键环节，也是机电一体化系统不可缺少的关键技术之一，其水平高低在很大程度上影响和决定着系统的功能；其水平越高，系统的自动化程度就越高。在一套完整的机电一体化系统中，如果不能利用传感检测技术对被控对象的各项参数进行及时准确地检测出且转换成易于传送和处理的信号，我们所需的用于系
统控制的信息就无法获得，进而无法使整个系统正常有效地工作。
我国传感器的研究集中在专业研究所和大学，始于20世纪80年代，但与国外先进技术水平相比较的话，我们还有很大差距，具体表现在：
（1）先进的模拟和设计方法；
（2）先进的微机械加工技术与设备；
（3）先进的封装技术与设备；
（4）可靠性技术研究等方面。因此，必须加强技术研究和引进先进设备，以提高整体水平。传感器技术今后的发展方向可有几方面：
①加速开发新型感材料：通过光电子、生物化学、信息处理等各种学科，各种新技术的互相渗透和综合利用，可望研制出一批基于新型敏感材料的先进传感器。
②向高精度发展：研制出灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化的可靠性。
③向微型化发展：通过发展新的材料及加工技术实现传感器微型化将是近十年研究的热点。
④向微功耗及无源化发展：传感器一般都是非电量向电量的转化，工作时离不开电源，开发微功耗的传感器及无源传感器是必然的发展方向。
⑤向智能化数字化发展：随着现代化的发展，传感器的功能已突破传统的功能，其输出不再是一个单一的模拟信号（如0-10mV），而是经过微电脑处理好后的数字信号，有点甚至带有控制功能，即智能传感器。
4 结束语
综上所述，我国传感器的研究现状与性能的发展对我国的机电一体化系统的影响非常大，我国应该重视传感器的研究与发展。
参考文献：
[1]赵继文.传感器与应用电路设计[M].北京:科学出版社,2002.
[2]周乐挺. 传感器与检测技术.北京:机械工业出版社,2005.
[3]杜 维.过程检测技术及仪表[M].北京:化学工业出版社,1999.
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